中商情报网讯：芯片制造设备行业是半导体产业链的核心环节，具有高技术壁垒和资本密集特性，涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键设备。目前我国芯片制造设备迎来高速增长期，国产替代空间广阔。榜单中，北方华创以刻蚀/薄膜沉积设备全环节覆盖能力位居榜首，中微公司凭借5nm刻蚀机量产稳居第二，上海微电子作为国产光刻机"独苗"突破28nm制程位列第三，盛美上海（清洗设备）、拓荆科技（薄膜沉积）和华海清科（CMP设备）分列第四至第六，形成覆盖芯片制造全流程的国产设备梯队，其中头部企业Q1营收增速普遍超30%，研发投入占比最高达40%。

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